Doppelspot-Strahlteiler sind häufig genutzte diffraktive optische Elemente (DOEs), die einen Eingangsstrahl in zwei Strahlen mit gleichen Eigenschaften aufteilen. Sie werden unter anderem in der Lithographie sowie zum Schneiden oder Perforieren mit Hochleistungslasern eingesetzt. Bisher ging immer ein geringer Anteil des Lichts in die höheren Beugungsordnungen verloren. Bei besonders anspruchsvollen Anwendungen ist selbst dieser kleine Verlust unerwünscht. Daher hat Holo/OR dieses DOE entwickelt, bei der die Effizienz deutlich über dem Standardwert von 81% liegt.
Um die maximale Effizienz zu erzielen, muss das HEDS im Strahlengang zentriert werden. Bei einer Verschiebung bleiben Spotform und Gesamteffizienz zwar erhalten, jedoch ändert sich Leistungsverteilung zwischen den beiden Spots. Diese Eigenschaft lässt sich andererseits geschickt für die Feinjustage des Teilungsverhältnisses nutzen: Statt des Verhältnisses 50:50 könnten beispielsweise 47:53 eingestellt werden.
Das HEDS ist für Wellenlängen von 193 nm bis 10,6 μm erhältlich.
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