Plasma-Messung garantiert reproduzierbare Schichteigenschaften

„Durch plasmagestützte Verfahren und optisches Monitoring sind wir heute in der Lage dichtere und präzisere dielektrische Schichtsysteme zu realisieren“, erklärt Dr. Sina Malobabic, die das Forschungsprojekt bei LASER COMPONENTS betreute und koordinierte. „Doch auch die Plasmazustände können sich aufgrund von kurzfristigen Schwankungen oder Langzeitdriften ändern. Bei komplexen Schichtsystemen kann der Coating-Prozess bis zu 18 Stunden dauern. Treten dabei Unregelmäßigkeiten auf, kann das gravierende Folgen für das Endprodukt haben.“

Eine von der Ruhr-Universität Bochum entwickelte Sonde ermöglicht nun erstmals In-Situ-Messungen der Plasmaparameter. Die Einrichtung von Mess- und Regeltechnik an Produktionsanlagen wurde maßgeblich durch das INP unter der Leitung von Dr. Jens Harhausen unterstützt. Erste Testmessungen in den Beschichtungsanlagen von LASER COMPONENTS kamen zu positiven Ergebnissen: Durch die Kombination von Plasma- und Schicht-Monitoring sind neue Regelungskonzepte möglich, über die die Schichteigenschaften gezielter eingestellt werden können. Im Produktionsprozess lässt sich so nicht nur die Qualität, sondern auch die Ressourceneffizienz erheblich steigern.

„Nachdem wir im Vorgängerprojekt PluTO die theoretischen Grundlagen definiert hatten, ging es jetzt um die praktische Umsetzung im Industriealltag“, erläutert Prof. Dr. Ralf Peter Brinkmann vom Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik der Ruhr-Universität Bochum. „Mit LASER COMPONENTS hatten wir dabei einen Industriepartner an unserer Seite, der nicht nur über die entsprechenden Produktionsanlagen verfügt, sondern auch über ein junges, engagiertes Entwicklerteam mit dem notwendigen wissenschaftlichen Background.“

Weitere Informationen www.lasercomponents.com/de/unternehmen/innovationen/zentrale-enwicklungsabteilung/