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Active Shims für Nanometerauflösung und Langzeitstabilität: Justage mit piezobasierten „Unterlegscheiben“
Ändert sich innerhalb von Präzisionsmaschinen z. B. für die Halbleiterfertigung, Metrologie Anwendungen oder Inspektionssysteme ein Soll- oder Ist-Maß zwischen zwei Komponenten, kann es erforderlich sein, dieses nachzujustieren. Das ist z. B. dann der Fall, wenn die Maschine beim Anwender in Mehr